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纳米信息与表面技术研究室

        致力于纳米技术在电子信息与表面技术领域的应用,研究实用新型纳米电子信息材料、器件制备技术及材料表面技术的应用,建立满足市场需求的纳米电子信息及表面技术应用平台,促进我国纳米技术在信息材料与表面技术领域的发展。
一、研究方向
        实用纳米电子信息材料与器件的研发,新型微纳米传感材料及其器件开发,新型薄膜材料研制,信息材料表面性能、形貌测试服务及相关测试技术。
二、研究内容
        1.实用新型纳米半导体(光电、电磁等)材料与器件研究开发;
        2.新型气敏传感材料、器件及其测试系统开发;
        3.新型纳米薄膜及其制备技术研发;
        4.基于原子层沉积技术的加工技术及装备开发。 
三、现有研究基础
        研究室团队在上述各方面均具有丰富的经验和良好的基础,并与多家高校及科研院所建立合作关系;研究室拥有较为成熟的新型纳米电子功能(光电、电磁等)材料及其器件的研究开发技术,气体传感材料、器件以及检测系统研究开发手段;大、小尺寸原子层沉积系统等新型纳米薄膜加工、检测手段,具备围绕技术需求整合地区相关资源进行联合攻关和开发研究的能力。

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