光电位置传感器

基于硅基-氧化锌功能性薄膜结构的光电位置传感器是由中心自主开发（ZLCN201410614869.5等）的产品。该产品具有分辨率高、响应速度快、信号输出简单及响应光谱范围宽等优点，在精确光学排列传感器、表面压型、旋转控制、角测量、距离传感器、指导系统及位置监测等领域具有重要的应用前景。